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科技成果与产品

微电子机械系统

2002-12-27

　　微电子机械系统（MEMS）集微结构、微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口、微能源于一体，是由微电子、微细加工和微光电等技术结合而成的一项跨世纪军民两用技术。近年来，随着微电子技术、微细加工技术和微光电技术的迅速发展，三者相结合而成的微电子机械技术作为跨世纪的军民两用技术受到世界各国的重视，纷纷投巨资进行研究。

　　微电子机械系统是在单晶硅等半导体材料上加工出三维机械结构与专用控制和检测线路集成制造或混合封装而成。适合大批量生产。微电子机械系统可用于灵巧炸弹、智能蒙皮结构、微型飞机、微型机器人等新的军事领域。也可用于汽车、工业控制、医疗产品、消费类电子产品等民用领域。